使用说明书
一、 特点及用途：
本仪器是内含微处理器的傻瓜型高性能仪器，是专为105~10-6Pa（ZDF-1A型）或105~10-4Pa（ZDF-1B型）范围真空自动测量控制而设计的，有金属电阻规、抗氧化玻璃电离规、金属热偶规三个测量通道(其中金属热偶规测量通道根据用户选购时定制)。ZJ-52(或ZJ-52K)金属电阻规（国外称皮拉尼）测量1.0E5Pa到1.0E-1Pa，ZJ-54D(或ZJ-54DK)金属热偶规测量3.0E2Pa到1.0E-1Pa，ZJ-27抗氧化玻璃电离规测量5.0Pa到1.0E-6Pa，有自动优先和手动优先二种操作模式；从低真空电阻规测量转到高真空电离规测量有1-99分钟可设延迟；机内参数有SOFTLOCK密码锁保护；最新16位高速AD转换电路；微处理器自动修正电路参数不一致性给测量带来的误差。仪器具有可靠的抗冲击线路自保护功能，可广泛用于真空镀膜、电子束焊、热处理、冶金、化工、半导体、激光及电工行业。
二、技术条件：
1、 测量及控制范围： 105~10-6Pa（ZDF-1A型）
105~10-4Pa（ZDF-1B型）
2、 配用规管：电阻规、电离规（根据用户要求可增加一路热偶规）
通道2：ZJ-52(或ZJ-52K)金属电阻规(测1.0E5Pa到1.0E-1Pa)
通道3：ZJ-27抗氧化玻璃电离规(测5Pa到1.0E-6Pa) （ZDF-1A型）
ZJ-10抗氧化中真空电离规(测26Pa到1.0E-4Pa) （ZDF-1B型）
通道1：ZJ-54D(或ZJ-54DK)金属热偶规(测量3.0E2Pa到1.0E-1Pa)（用户选购件）
5、发射电流： 50μA允差3%(5.0Pa到1.0E-1Pa)
5MA允差3%(1.0E-2Pa到1.0E-6Pa)（ZDF-1A型）
50μA允差3%(26Pa到1.0E-2Pa)
500μA允差3%(1.0E-3Pa到1.0E-4Pa)（ZDF-1B型）
阳极电压：225V允差3%（ZDF-1A型）
165V允差3%（ZDF-1B型）
阴极电压：25V允差5%（ZDF-1A型）
50V允差5%（ZDF-1B型）
离子流放大器示值允差5%
6、输出控制继电器4路，每路均全量程可调、每路均有上下限设定，可用于区域控制和点位控制（用户选购件）。
7、电阻规和电离规测量可自动转换，有自动优先和手动优先二种模式。
8、电阻规和电离规测量自动转换时可设定延时，延时可设范围1-99分钟。
9、功能设定有SOFTLOCK密码锁保护（本机密码15）。
9、显示单位：Pa；
10、显示方式：幂次方科学计数法
11、外型尺寸：99×320×320mm（高×宽×深）标准KBA机箱。
二、 使用方法：
1、用户将仪器不接规管通电，先行操作按键熟悉操作方法。仪表按键采用“所按即所得”方式操作。大数码管显示测量值，小数码管显示测量通道: 按“电阻2”键显通道2-----电阻规测量值; 按“电离3”键显通道3-----电离规测量值; 按“热偶1”键显通道1-----热偶规测量值; 再按“热偶1”键显通道0-----热偶规加热电流值（28.0MA-50.0MA可调）。在显通道2时按“自动”键，“AUTO”灯亮，仪器据测量值在电阻规电离规间自动切换。
2、将规管用真空连接的方法接入真空系统（玻璃电离规必须先切割开口），并将规管用规管线同仪表相连。建议电阻规和电离规并接入主真空腔，热偶规（用户选购的话）接入前级真空管路。
3、使用前的调整：
A、 手动优先模式：（即开启电源后“AUTO（自动）”灯灭的状态）：
当真空系统中确认为大气压时，按“电阻2”键，用螺丝刀调面板上2孔电阻规满度电位器，使2通道电阻规显示为9.9E4帕；当连好热偶规（新规管）的情况下（此为用户选购件），按“热偶1”键二次，使显示0通道热偶规电流，用螺丝刀调面板上1孔热偶规电流电位器，使显示为30.0MA；电离规参数不用调节。
B、 自动优先模式：（即开启电源后“AUTO（自动）”灯亮的状态）：
按下节仪表的设置方式先改为手动优先模式再照上条A项手动优先模式调整。
4、真空测量：
（1） 开启用户真空抽气机组即可测量真空，用户可先用手动优先模式进行设备调试。1.0E5Pa到1.0Pa时“按电阻2”用2通道的电阻规测低真空；5.0Pa到1.0E-6Pa（ZDF-1A型）、26Pa到1.0E-4Pa（ZDF-1B型）时“按电离3”用3通道电离规测高真空(如真空度不在电离规测量范围，则按“电离3”键后，由于离子流曲线的下弯将会显示虚假真空度，同时引起灯丝氧化进而烧毁灯丝)；用1通道热偶规测前级管道真空。ZDF-1A型有电离规除气功能,当测量值低于9.9E-3PA时,按住“DEG键”3秒钟再放开，仪表进入99秒电离规除气，按“电阻2“键可中断除气，设备调试完毕用户可据工艺要求改用自动优先模式或手动优先模式中的自动（手动优先模式按“自动”键即可）进行测量。
（2）自动状态即“AUTO（自动）”灯亮的状态：仪表首先用电阻规（小数码管显2）测量1.0E5Pa到4.0Pa，当所测系统内压力低于4.0E0Pa时自动转为电离规（小数码管显3）测量。自动状态时按“电阻2”和“电离3”键仪表将不予理睬。注意区分自动优先模式（键已锁定）或手动优先模式中的自动（按“自动”键即可亮或灭“自动”灯，键不锁定），自动优先模式（键已锁定）时电阻规测到转换真空值时将再等待一段延时时间（据用户功能设定中自行设定）转到电离规，而手动优先模式中的自动仅有1分钟延迟。按“自动”键“AUTO”灯亮，进入自动状态，此时仪表测量自动转换；再按“自动”键“AUTO”灯灭进入手动控制状态，此时仪表测量由用户根据量程手动选择电阻规或电离规。
真空系统放气时请先切换到电阻规测量或直接关闭仪表电源以保护电离规。
5、仪表的设置：
功能设定：
1、按住“SET”键3秒钟再放开进入功能设置态，显示窗显“LOC”（即锁Locker的意思），后二位数闪动,用户可单击▲和▼调整本仪表的操作密码(密码为15)，密码设置完后可单击↙键确认进入下一功能。（双击▲键可加速上升，此时停止加速上升须单击键▼，反之亦然。以下同样如此。）
2、单位设定：若密码正确，单击↙键后仪表显示窗显示“un1”（即单位unit的意思），此时Torr、Pa、mbar灯闪，可用▲和▼键选择用户所喜好的测量单位，选择完毕单击↙键确认进入下一功能（本仪表未开通本功能）。
3、继电器1下限（J1L）设定：J1灯亮,小数码管显L,（即输出继电器1下限J1Low的意思）显示窗闪动当前设定值，可单击键▲或▼键调整，调整完毕单击↙键进入下一功能。
4、继电器1上限（J1H）设定：J1灯亮, ,小数码管显H,（即输出继电器1上限J1High的意思）显示窗闪动当前设定值，可单击▲键或▼键调整，调整完毕单击↙键进入下一功能。
5、以下依此可设J2L、J2H、J3L、J3H、J4L、J4H，可单击▲键或▼键调整，调整完毕单击↙键进入下一功能。
（注意：当上限设定∠下限设定时，软件自动纠错，强制使上限设定=下限设定）。
7、串行通信码设置：显示窗显“Cod”，后二位数据闪。可单击▲键或▼键调整，调整完毕单击↙键确认，(多机并联数据上传通信时每台真空计须设为0-9中不同的编码,最多十台)。
设置操作注意：1）、仪表在设置态若超过30秒不操作键，则30秒后仪表自动恢复测量态。2）、继电器上限设定值必须≥下限设定值。
6、仪表功能态检查：按住“SET”键3秒钟再放开进入密码锁验证，此时若输入密码正确并键入↙键则进入功能设定态，若用户键入密码错误或直接键入↙键即进入功能态检查，此时每键入一次↙键就显示一条设定信息，显示秩序同功能设定，最后单击↙键恢复到测量态，显示窗恢复显示当前测量值。
7、输出控制继电器使用注意点：1）输出控制继电器理论上可以接AC220V/3A阻性负载或AC220V/1A感性负载，但建议用户用中间继电器过渡，这样的好处是万一发生故障只烧中间继电器保护了真空计内继电器的安全（注意：继电器每组输出触点上并有0.01微法的灭弧电容,当接交流负载时可能会有几毫安的漏电流,但接直流负载时不会有影响）。
2）、每路输出继电器的上限设定必须≥下限设定，当上限设定大于下限设定时，控制输出有一个回差，即当测量值低于继电器下限设定时，继电器得电，常开触点接通，常闭触点断开，面板上相应继电器灯（J灯）点亮；当测量值大于继电器上限设定时，该继电器失电，常开触点断开，常闭触点接通，面板上相应继电器灯（J灯）灭(例:某旋片真空泵节电运行:将该泵通过中间继电器接入本仪表J1继电器常闭回路中,该J1的H(上限)设为50Pa,J1的L(下限)设为10Pa，则当真空泵上电从大气开始抽气到达10Pa后,泵自动停止工作,当系统内真空缓慢泄漏至50Pa时真空泵又自动开始抽气),这在控制工程中是非常有用的，可以防止在动作点附近频繁开关电器；当上限设定=下限设定时，控制输出没有回差，可以用作控制工程的精确控制。本仪器软件设计上考虑了用户设置时可能发生的粗心，当上限设定∠下限设定时，软件自动纠错，强制使上限设定=下限设定）。
8、当不熟悉仪表的人误操作本仪表时，本仪表设置密码锁（soft Locker），仪表只能让使用者查看功能设置而不能修改参数，这样可保证自动控制的安全。本仪表的设置参数均有E2ROM闪存保存，数据存贮非常可靠。
9、本仪表若误进入设置功能而不知如何退出时可不断单击↙键退出到测量态，也可不操作任何键，30秒后即自动恢复到测量态。
10、本仪表允许用户24小时不断电持续使用，仪表设置有watchdog看门狗电路，防止软件的失控。
四、使用中可能出现的问题：
1、在自动状态无法从电阻规转到电离规测量：此是电阻规本底过高造成的，用户可在确认真空度已达0.1帕的情况下,用螺丝刀调后面板“电阻规调零”电位器，使到1.0E-1PA,反时针调小,顺时针调大。
2、手动状态无法点亮电离规：有二种原因：1、不在电离规测量范围内。2、电离规断丝
四、仪器规管电缆：
规管电缆接头连接处是故障多发之处，各电缆接法如下：
热偶规缆（ZJ-54D规缆）：
CX16Z4FG航空插 瓷八脚
1 7 加热丝
2 5 热偶丝（+）
3 2 加热丝
4 4 热偶丝（-）
电阻规缆(ZJ-52规缆)
GX16Z7FG航空插 瓷八脚
1 4
2 6
3 3 （屏蔽层在此连接）
4 2
电离规缆（ZJ-2或ZJ-27B规缆）（配用ZDF-1A型）
CX16Z4FM航空插 瓷八脚 (或鳄鱼夹)
1 7 灯丝 黑夹
2 4 栅极（除气用） 红夹
3 2 灯丝 黑夹
4 5 栅极 红夹
电离规缆（ZJ-10规缆） （配用ZDF-1B型）
CX16Z4FM航空插 瓷八脚
1 4 灯丝
3 5 灯丝
4 2 栅极
Q9-5高频插 7 收集极
五、仪器成套性
ZDF-1A（或ZDF-1B）数显式复合真空计 一台
ZJ-52（或ZJ-52K）电阻规 一支
ZJ-27（或ZJ-10）电离规 一支
ZJ-54D热偶规 （用户选购件） 一支
3米电离规电缆 一套
3米ZJ-52电阻规电缆 一根
3米ZJ-54D热偶规电缆 一根
1.5米电源电缆 一根
使用说明书、合格证 一份
六、仪器的维修：
仪器的规管和电缆是故障最多的地方。电离规断丝可透过玻璃壳观察。
若急需修理，请电话联系后再用门对门快运方式如快递公司、中铁快运或邮政快件寄回。
单位电话：021-62315744、62317134 、13916869915；地址: 上海长寿路748弄1号楼1305号; 邮编: 200060
